VertScan(R)2.0 System（三次元非接触表面形状計測システム）

MM5000シリーズ

MM3000シリーズ

VertScan(R)2.0 System（三次元非接触表面形状計測システム）

光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズCCDカメラを組み合わせ、干渉像を垂直走査することにより、対象物の表面形状を三次元計測します。単色光を用いた高精 度位相シフト方式にMicromap社独自の干渉縞アドレッシング方式を組み合わせ、高精度でワイドな段差測定レンジを 実現しています。

MM5000シリーズ
標準シリーズです。スキャン方式はピエゾとパルスモータを用意し、垂直分解能に合わせて選択できます。オプションで、厚さ3mmまでのガラス（透明体）の下の表面形状の計測を可能にするリニク干渉計を組み込むことが可能です。

MM3000シリーズ
垂直分解能に優れたシリーズです。
新開発の本体とジョイスティックにより、簡単な操作で測定位置合わせや計測が可能です。リアルカラー3D解析が可能なモデルもご用意しました。