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カスタマイズ可能な走査型マルチプローブ顕微鏡
~ナノレベルでの表面形状/電気的特性の同時測定~


SXM ACTIVE(マルチプローブ顕微鏡)
本走査型マルチプローブ顕微鏡は、複数のプローブを擁し、ナノレベルにおける表面凹凸形状や電気的特性の同時測定をすることができます。
AFMプローブは面倒な光軸調整が不要で、初めての方でも操作が簡単に行える自己検知型プローブを採用しています。
本顕微鏡は生体分野では、ナノ表面凹凸形状と分子間相互作用の解析、工業製品分野ではナノ表面凹凸形状と表面物性評価と様々な要求に対応することができる装置です。

自己検知型プローブNANOSENSORS社製 A-probe
ナノレベルにおける同時測定
複数プローブ測定
測定機能のモジュール化
自己検知型プローブ
最適システムの提案

2つのプローブで同時測定を行った事例のご紹介*
右図より、プローブ間約400nmの近接同時測定が可能です。
| プローブ数 | 2~4個 |
|---|---|
| 測定機能 | AFM/STM/その他計測機能 |
| スキャンサイズ | XY: 50x50 μm, Z: 5 μm (変更可) |
| サンプルサイズ | 最大:20×20mm, t:2mm |
| 環境 | 大気中(真空中:要ご相談) |
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